به راحتی درمان سطحی برای اجزای حساس را انجام می دهد
- پلاسمای آرگون با قابلیت تماس
- هیچ جرقه، قوس، گرد و غبار، اشعه ماوراء بنفش یا گرمای بیش از حد ایجاد نمی کند
- بدون خطر تخلیه الکترواستاتیک (ESD) برای قطعات الکترونیکی حساس (مانند ویفر، قاب های سربی، قطعات بسته بندی نیمه هادی)
| پارامترهای اساسی | پلت فرم سیستم تصفیه سطح پلاسما MYS |
| برق مورد نیاز | 220 ولت، 2 کیلو وات، 10 آمپر، 60 هرتز |
| گاز مورد نیاز | 90 psi (6 بار) |
| ابعاد (W x D x H) | 1200 x 770 x 1400 میلیمتر |
| وزن | 650 کیلوگرم |
| گواهینامه | CE |
| دقت موقعیت یابی | XY: ± 30 میکرومتر @ 3σ. Z: ± 10 میکرومتر @ 3σ |
| تکرارپذیری محور X، Y، Z | XY: ± 15 µm @ 3σ Z: ± 5 µm @ 3σ |
| حداکثر سرعت | 1000 میلیمتر بر ثانیه (X، Y) |
| شتاب | 1.0 گرم |
| وضوح دوربین | 640 × 480 پیکسل (0.3 مگاپیکسل) |
| سیستم درایو | سروو AC |
| نوع نوار نقاله | کمربند |
| ظرفیت بار نوار نقاله | 3 کیلوگرم |
| حداقل عرض محصول | 50 میلی متر |
| حداکثر عرض محصول | 475 میلی متر |
| حداقل طول محصول | 50 میلی متر |
| حداکثر طول محصول | 350 میلی متر |
| سیستم عامل نرم افزار | ویندوز 7 |
| محدوده ضخامت محصول | 0.5-6 میلی متر |
| پروتکل ارتباطی | SMEMA |
| ناحیه درمان پلاسما (D x W) | 475 x 350 میلی متر |
|
|
|
| مشخصات اولیه | سیستم مورد نیاز پلاسما |
| قدرت RF | 600 وات در 27.12 مگاهرتز |
| گاز پلاسما اولیه | آرگون |
| گاز فرآیندی | O2، N2، یا H2 (سایر موارد در معرض آزمایش) |
| محدوده فشار عرضه گاز | 30-100 psig (0.2-0.7 مگاپاسکال) |
نشانی
طبقه 5، ساختمان 2، شماره 182، جاده چانگان شیان، شهر چانگان، دونگوان، استان گوانگدونگ، چین.
تلفن
پست الکترونیک
